声明
摘要
第1章 绪论
1.1 引言
1.2 课题研究背景
1.3 半导体行业机器人的应用环境
1.4 真空硅片搬运机器人国内外发展情况
1.5 发展半导体行业搬运机器人的必要性
1.6 本文主要研究内容
1.7 本章小结
第2章 真空硅片搬运机器人的传动和运动学分析
2.1 真空硅片搬运机器人的传动结构和运动分析
2.1.1 真空硅片搬运机器人的Z向运动
2.1.2 真空硅片搬运机器人的R向运动及推导
2.2 真空硅片搬运机器人的运动学分析
2.2.1 真空搬运机器人正问题
2.2.2 真空搬运机器人逆问题
2.2.3 真空搬运机器人速度和加速度分析
2.3 本章小结
第3章 真空硅片搬运机器人的动力学及有限元分析
3.1 前言
3.2 真空硅片搬运机器人的动力学分析
3.3 真空硅片搬运机器人的有限元分析
3.3.1 SolidWorks Simulation进行有限元分析的流程
3.3.2 机器人关键部件三维模型的简化
3.3.3 末端执行器的有限元分析
3.4 本章小结
第4章 真空硅片搬运机器人的运动学和动力学仿真
4.1 真空硅片搬运机器人虚拟样机的建立
4.2 推算的验证
4.3 机器人速度规划
4.4 真空硅片搬运机器人的运动学仿真
4.5 真空硅片搬运机器人的动力学仿真
4.6 本章小结
第5章 真空硅片搬运机器人的误差与标定
5.1 真空硅片搬运机器人的标定原理及误差模型
5.1.1 真空硅片搬运机器人标定概述
5.1.2 直角坐标系间的微分运动
5.1.3 标定原理
5.1.4 真空硅片搬运机器人误差建模
5.1.5 多个点的处理
5.2 仿真验算
5.3 本章小结
第6章 结论与展望
6.1 结论
6.2 展望
参考文献
致谢