基于机械手的硅片搬运浸泡应用研究

摘要

本课题针对清洗生产线的硅片搬运提供了机器人解决方案,工业机器人替代人工搬运方式,将整个搬运过程做成一个相对封闭的单元空间.采用机械手抓举提升放置系统为全自动控制,全自动控制为人为设定好程序, 设备全自动运行,实时监测各工件位置,夹取、翻转、码放、排列均为自动运行,是安全生产和工艺要求的保证, 避免造成人员、设备和产品的损坏,减轻劳动力劳动强度、提高生产效率.