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声明
1绪论
1.1低温等离子体刻蚀的研究背景和意义
1.2射频容性耦合等离子体研究现状
1.3离子能量分布和角度分布的研究进展
1.4本文内容简介及结构安排
2 PIC/MCC模拟理论
2.1粒子模拟(PIC)理论
2.1.1粒子模拟的基本思想和要点
2.1.2粒子模拟的技巧
2.1.3笛卡尔坐标系下的一维静电场模型
2.1.4有界等离子体模拟
2.2 MCC模型
2.2.1 MC技术
2.2.2零碰撞法
2.2.3 PIC/MCC计算流程
3二维单频容性耦合放电模拟研究
3.1引言
3.2模型建立
3.3等离子体参数结果与讨论
3.3.1一定外部条件下的放电结果分析
3.3.2不同外部条件下的放电结果分析
3.4能量分布和角度分布结果分析
4一维双频容性耦合放电模拟研究
4.1引言
4.2模型建立
4.3模拟结果分析
结论
参考文献
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
致谢
大连理工大学;