Модификации метода PIC-MCC для моделирования многокомпонентной плазмы емкостного ВЧ-разряда

摘要

Представлены кинетическая и гибридная модели многокомпонентной плазмы высокочастотного емкостного разряда в химически активных газах. Предложены модификации метода частиц в ячейках, позволяющие сократить время расчета.