用于形成包括在其间具有电容器绝缘体的一对导电性电容器电极的电容器的至少一个导电性电容器电极的至少一部分的方法及形成电容器的方法

摘要

一种用于形成电容器的至少一个导电性电容器电极的至少一部分的方法，所述电容器包括在其间具有电容器绝缘体的一对导电性电容器电极，所述方法包括：形成包括非晶绝缘性金属氧化物的绝缘性第一材料。在还原环境中还原所述非晶绝缘性金属氧化物，以从所述绝缘性第一材料形成导电性第二材料。在所述还原环境中的此还原(a)从所述金属氧化物去除氧并改变其化学计量，以及(b)使所述金属氧化物结晶成导电性的结晶态。