机译:用于形成电容器的至少一个导电电容器电极的至少一部分的方法,该电容器包括一对在其间具有电容器绝缘体的导电电容器电极,以及形成电容器的方法
公开/公告号US10553673B2
专利类型
公开/公告日2020-02-04
原文格式PDF
申请/专利权人 MICRON TECHNOLOGY INC.;
申请/专利号US201715855665
申请日2017-12-27
分类号H01L21/02;C23C16/02;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/455;H01L27/108;B82Y99;H01L49/02;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:24:40