离子束和射频混合驱动的容性耦合等离子体源

摘要

本发明提供了一种离子束和射频混合驱动的等离子体源，包括真空腔室，其内设有平行且水平放置的上极板和下极板，该上极板为栅状电极板，该上极板上还设有离子束源；该容性耦合等离子体源还包括射频电源，其输出端连接上极板或者下极板；该真空腔室上还设有进气系统，放电气体通过进气系统注入真空腔室内；上极板和下极板通电后产生容性耦合等离子体，离子束源内的高能离子通过栅状电极注入放电区域，并直接与放电区域的等离子体中各粒子发生碰撞并传递能量。本发明可以实现不同环境和需求的等离子体源。