PIC-MCC Simulations of Capacitive RF Discharges for Plasma Etching

机译：等离子体刻蚀的射频电容放电的PIC-MCC模拟

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27TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON RAREFIED GAS DYNAMICS : Pacific Grove, California, (USA), 10–15 July 2010

机译：第27届国际稀有气体动力学研讨会：美国加利福尼亚太平洋太平洋，2010年7月10日至15日

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作者
Takao Yoshinori; Matsuoka Kenji; Eriguchi Koji; Ono Kouichi;
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作者单位

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年度 2011
总页数
原文格式 PDF
正文语种 eng
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