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目录
第1章 绪论
1.1 引言
1.2 GaN基LED的发展史
1.3 GaN材料的基本性质
1.4 GaN薄膜的生长设备及生长技术
1.5 GaN基LED的芯片结构
1.6 Si衬底GaN基垂直结构LED的制备
1.7 本论文的行文安排
第2章 金属在不同缺陷密度的硅衬底GaN基LED薄膜中的扩散
2.1 引言
2.2 实验
2.3 结果与讨论
2.4 本章小结
第3章 粘结材料对硅衬底GaN基LED薄膜转移过程中应力的影响
3.1 引言
3.2 实验
3.3 结果与讨论
3.4 本章小结
第4章 GaN基LED I-V特性及理想因子的研究
4.1 引言
4.2 实验
4.3 结果与讨论
4.4 本章小结
第5章 结论
致谢
参考文献
攻读硕士学位期间的研究成果