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【6h】

MoS2/MoO2异质结构的可控生长及光电性能研究

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目录

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第1章 绪 论

1.1 二维过渡族金属硫属化物

1.2 二硫化钼

1.2.1 二硫化钼的原子结构介绍

1.2.2 二硫化钼的特性

1.2.3 二硫化钼的制备方法

1.3 二氧化钼

1.4 课题研究思路和研究意义

第2章 实验材料与设备

2.1 实验材料

2.2 实验仪器

2.3 表征所用仪器设备

2.3.1 光学(OM)和荧光(FL)显微镜

2.3.2 原子力显微镜(AFM)

2.3.3 拉曼光谱仪(Raman)

2.3.4 扫描电子显微镜(SEM)

2.3.5 透射电子显微镜(TEM)

第3章 化学气相沉积制备MoS2/MoO2异质结构

3.1 MoS2/MoO2异质结构的生长流程

3.2 影响MoS2/MoO2异质结构生长的因素

3.2.1 源的质量

3.2.2 源的温度

3.2.3 载气流量

3.2.4 生长时间

3.2.5 基底与钼源的距离

3.2.6 通过CVD制备MoS2/MoO2异质结构的工艺参数优化

3.3 MoS2/MoO2异质结构的表征

3.3.1 形貌表征

3.3.2 拉曼和光致发光表征

3.3.3 透射电子显微镜表征

3.4 本章小结

第4章 基于MoS2/MoO2异质结构的光电器件性能

4.1 MoS2/MoO2异质结构光电器件的构筑

4.2 MoS2/MoO2异质结构光电性能测试

4.2.1 接触电极对器件性能的影响

4.2.2 温度对器件性能的影响

4.2.3 光对器件性能的影响

4.3 本章小结

结论

参考文献

攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果

致谢

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著录项

  • 作者

    刘玉洁;

  • 作者单位

    燕山大学;

  • 授予单位 燕山大学;
  • 学科 材料学
  • 授予学位 硕士
  • 导师姓名 向建勇;
  • 年度 2019
  • 页码
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 中文
  • 中图分类 半导体技术;
  • 关键词

    MoS2; 异质结构; 可控生长;

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