1 研究背景及意义
1.1引言
1.2 ZnO薄膜的基本性质
1.3 ZnO的结构形态
1.4 ZnO薄膜的性能
1.5 ZnO薄膜的本征缺陷
1.6 p型ZnO薄膜的研究进展
1.7 p型ZnO薄膜稳定性的研究进展
1.8 ZnO薄膜的应用
1.9 本文的立题依据、研究内容及创新点
2 实验原理、实验过程及表征手段
2.1 实验原理
2.2 实验过程
2.3 小结
2.4 薄膜的性能测试手段
2.5 小结
3 退火温度对ZnO:In薄膜特性的影响
3.1光学性质
3.2 结构性质
3.3 电学性质
3.4 第一性原理计算
3.5 本章小结
4 In-N共掺p型ZnO薄膜稳定性研究
4.1 HALL跟踪测试
4.2 吸收光谱
4.3 结构性质
4.4 小结
5 总结和展望
一、本文主要结论如下:
二、后续展望
参考文献
附录A
致谢
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