Energy Photovoltaics, Inc., P.O. Box 7456, Princeton, NJ 08543 USA;
机译:基于外延膜的薄晶体硅太阳能电池,其通过RF-PECVD在165°c下生长
机译:薄膜太阳能电池本征氢化非晶硅的沉积-通过RF-PECVD静态生长和通过VHF-PECVD动态生长的层的比较研究
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机译:使用VHF PECVD技术开发和优化高效薄膜硅基太阳能电池。
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