机译:通过固相结晶获得的原位掺杂未氢化多晶硅薄膜制成的薄膜晶体管
机译:未氢化固相结晶多晶硅薄膜晶体管在开态和关态应力诱导下的降解
机译:通过成核控制的固相晶化增强了用于完全耗尽型晶体管的绝缘体上掺Sn的Ge薄膜(≤50nm)的迁移率
机译:薄膜晶体管在通过固相结晶获得的未氢化原位掺杂薄膜膜上的性能
机译:等离子体增强的硅基薄膜材料的化学气相沉积:使用质谱和低温(<600摄氏度)固相结晶的实时过程感测
机译:高性能薄膜晶体管的固溶氧化铟薄膜中的锂辅助低温相变
机译:通过固相结晶获得的原位掺杂未氢化多晶硅薄膜制造的薄膜晶体管
机译:在熔融石英衬底上制备的固相重结晶硅薄膜薄膜晶体管。