T 形電極アレイを用いた交流電気浸透マイクロポンプの提案

摘要

交流電気浸透（AC elecroosmosis：ACEO）は，水rnなどの液体に交流電圧を印加したとき，電極表面にrn帯電粒子が集まり電気二重層を形成し，そこに印加rn電圧による電界が加わることで生じる電極表面に平rn行なすべり速度により対流を生じる現象である．rn可動部のないシンプルな構造のデバイスで，交流電rn圧のため電気分解なしで安定に流れを発生することrnができるため，μ-TAS，マイクロミキサなどへの応rn用が検討されている1)．ACEO をポンプなどに広くrn応用するためには，一方向流れとすることが必要でrnある．そこで著者らの一部は，四角柱電極とスリッrnト電極を対向配置し効率的に一方向流れを得るrnSS-ACEO-MP（Square pole - Slit electrodes ACEOrnMicroPump）を提案，試作し，その有効性を実験的rnに明らかにした．さらに，SS-ACEO-MP に四角柱rn電極を追加し，電界を集中させ高出力化を図ったrnSMS-ACEO-MP （ Slit and Multiple Square polernelectrodes ACEO MicroPump）を提案し，その有効性rnをシミュレーションおよび実験により示した．