机译:静电可偏转多晶硅微镜-动态行为以及与ANSYS有限元建模结果的比较
机译:多晶硅表面微加工皮瓣的不对称表面粗糙度测量和弯月面建模
机译:多晶硅表面微加工皮瓣的不对称表面粗糙度测量和弯月面建模
机译:用单层多晶硅微机械技术制备静电微镜阵列的建模与测量
机译:静电,表面微机械加工的多晶硅微致动器的设计,制造,位置感测和控制。
机译:基于原子力显微镜的基于生物分子 - 钳位使用微机械静电致动器进行测量
机译:使用五层多晶硅表面微机械技术制造的低压旋转致动器
机译:采用五级多晶硅surface211微加工技术制造的低压旋转执行器