机译:利用表面微加工技术制造的带静电致动可变电感器的设计,仿真和表征
机译:一种用于生物MEMS应用的使用表面微加工多晶硅盖封装MEMS致动器的倒装芯片封装方法
机译:表面微机械加工的多晶硅热作动器和阵列的应用
机译:使用五级多晶硅表面微加工技术制造的低压旋转致动器
机译:基于光强度调制的厚多晶硅表面微机械加速度计。
机译:通过表面微加工CMOS MEMS工艺制造的压阻温度传感器
机译:通过化学溶液沉积和表面微加工技术制造的压电MEMS致动器
机译:采用五级多晶硅surface211微加工技术制造的低压旋转执行器