微細毛構造を有するシリコン双極型静電チャックの接触面の平滑さと微細毛長が静電力に与える影響

摘要

ウェアラブルデバイスの需要増加に伴い、誘電体フィルムなどのマニピュレーションの重要性が高まっている．様々なマニピュレーション方法の中で，操作が簡単で操作環境によらず適用可能である静電チャック(Fig.1)が注目されている．しかし，既存の平面型デバイスでは，表面形状が柔軟な対象物やフィルム形状の物体などへの対応は困難である．