机译:使用蒙特卡洛方法可以实现快速,准确的X射线光刻仿真。 DoseSim的新版本:专门用于深X射线光刻(LIGA)的软件
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机译:通过掩模拖动X射线光刻和对准X射线光刻技术制造聚合物微针阵列
机译:为什么X射线光刻打扰?
机译:分层结构中的图像形成:适用于X射线和极紫外光刻。
机译:用光刻法对金属-氧化物外延隧道结进行X射线衍射成像:使用聚焦和未聚焦X射线束
机译:X射线光刻的验证和移动掩模深X射线光刻的开发仿真系统
机译:用于软X射线投影光刻的三元件冷凝器系统的X射线表征。