圧電ディスク型ニオブ酸リチウム振動ジャイロスコープ

摘要

自動車の自動運転などにおいて慣性センサを用いた慣性航法システムの低コスト化が改めて要求されている。GPS が機能しない状況での自車位置推定のためには，バイアス安定性が0.1 deg/h 以下が必要とされており，乗用車の自動運転でこれを用いるためには低コストなMEMS デバイスで実現することが求められている。我々は圧電単結晶材料であるニオブ酸リチウム(LiNbO_3)ウエハを用いたワイングラス振動モードのディスク型振動ジャイロスコープを提案している。これは単結晶材料の高い振動Q 値と圧電材料の高い電気機械結合係数でシリコンや石英の単結晶ジャイロを凌駕する性能を目指すものである。本報告ではデバイスの試作結果について報告する。