単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロ

摘要

近年，自動運転技術が注目されているが，これには自車の姿勢を高精度で測定可能な角速度センサ（ジャイロスコープ，以下ジャイロ）が必要不可欠である。このような用途には従来0.01 - 1°/h 程度(1)のバイアス安定性を有する光ファイバージャイロやリングレーザージャイロといった光学式ジャイロが用いられている。しかし，これらは非常に高価なため，現状は10-1,000°/h 程度のバイアス安定性と性能は高くはないが安価な MEMS 振動ジャイロの高性能化が期待されている。