ニオブ酸リチュレムおよびタンタル酸リチューム圧電単結晶を用いた電子機構デバイス

摘要

圧電体としての電気機械結合係数の大きなニオブ酸リチュ-ム(LiNbO{sub}3)とタンタル酸リチューム(LiTaO{sub}3)を利用した電子機構デバイスについて,研究開発の現状と将来展望を述べる。 まず,圧電材料としての特長や研究開発の視点などを述べる。 具体的なデバイスとしては,筆者がこれまで研究開発に携わった圧電バルク波デバイスとして,圧電振動子,圧電トランス,圧電ジャイロや圧電アクチュエータなどを中心に取り上げる。