Spectroscopic ellipsometry; ZnO films; RF magnetron sputtering; micrographs; optical property;
机译:射频,直流和射频叠加直流磁控溅射沉积的透明导电掺铝ZnO多晶薄膜的载流子传输和晶体学取向特征
机译:射频,直流和射频叠加直流磁控溅射沉积的高透明导电Al掺杂ZnO多晶线膜的载流子迁移率:晶界效应和晶粒体积中的散射
机译:热退火对射频磁控溅射沉积Al掺杂ZnO薄膜结构,电学和力学性能的影响
机译:通过射频磁控溅射沉积的纯度和掺杂ZnO薄膜的光谱椭圆形研究
机译:原位光谱椭圆偏振法研究直流反应磁控溅射沉积的硅膜的结晶度和界面结构。
机译:射频直流和射频叠加直流磁控溅射沉积的透明导电掺铝ZnO多晶薄膜的载流子输运和晶体学取向特征
机译:射频磁控溅射沉积HfO2薄膜的原位光谱椭偏和结构研究