誘電泳動法を用いて作製した両極性カーボンナノチューブ電界効果トランジスタのNO_2ガス応答

摘要

カーボンナノチューブ(CNT)は、その高い比表面積から、ガスセンサへの応用が期待されている。CNTは大気中でNO_2などの酸化性ガスに暴露するとコンダクタンスが上昇し、NH3などの還元性ガスに暴露するとコンダクタンスが低下することが報告されている(1)(2)。我々はチャネル部に半導体型CNTを、誘電泳動法を用いて集積した両極性電界効果トランジスタ(CNT-FET)を作製し、NO_2暴露による電流-電圧特性の変化を調査した。