FePt-C グラニュラー薄膜における柱状構造の成長メカニズム

摘要

FePt は高い結晶磁気異方性を持つために約4nm まで微細化しても熱的に安定であることから、次世代の超高密度磁気記録媒体の材料として注目されている。我々はFePt-C において媒体に適用可能な均一な微細組織を実現した[1]。しかし、FePt とC の強い相分離のために、アスペクト比が1.5 以上の柱状構造を実現することは困難であった。そこで、我々は成膜途中のC 濃度を調整することにより平均粒子径が約6 nm·アスペクト比が約2 の柱状構造を持つFePt-C グラニュラー薄膜の合成に成功した[2]。ここでは、膜厚を系統的に変化させることによる組織の変化から、柱状構造の形成メカニズムについて検討した。