化学镀Co-Ni-P薄膜的组织结构和生长机理研究

摘要

利用Ｈ－８００透射电镜和Ｄｍａｘ／ｒｂ旋转阳极Ｘ－射线衍射仪分析了化学镀Ｃｏ－Ｎｉ－Ｐ三元合金薄膜的组织结构，并采用原子力显微镜观察了镀层的表面生长形貌，探讨了其生长机理。结果表明，随镀液中［Ｃｏ２＋］／［Ｃｏ２＋］＋［Ｎｉ２＋］的增大，镀层中Ｃｏ含量相应增加，Ｎｉ和Ｐ含量则下降。当Ｃｏ－Ｎｉ－Ｐ镀层中Ｐ含量小于５．０％时，镀层为晶态，且晶粒随着镀层的增厚而长大。随Ｎｉ和Ｐ含量的增高，镀层向非晶结构过渡；当Ｐ含量大于６．５％时，镀层经很薄的微晶过渡区后很快以非晶结构生长；当镀层含磷量处于５．０％～６．５％过渡区时，初期镀层为１２０ｎｍ左右的微晶，厚度增加时，晶粒尺寸迅速减小。