樹脂供給システムを備えたマルチスケール·光ファイバーマイクロ光造形法の開発

摘要

近年，紫外光を照射すると硬化し，液体から固体となる光硬化性樹脂を材料に用いて，高い加工分解能で透明物体を作製可能なマイクロ光造形法が盛hに研究されている。マイクロ光造形法では，レーザー波長や開口数（NA），1光子吸収や2光子吸収などの硬化原理を変更することで，マイクロからナノメートルオーダーの加工分解能で任意の3次元構造体を作製できる。しかしながら，共通の光学システムを用いて1～100μm以上にわたる広範囲の加工線幅を提供できる造形法はこれまでに存在していなかった。このため，精細かつ大面積の3次元構造体や，スケールの異なる形状が混在したマルチスケール構造体を作製する際は，光学システムの変更，サンプルの移動と再設置など煩雑な作業があり，加工精度の低下や造形時間の長時間化という問題が生じていた。