Scanning electron beam lithography; chemically-amplified resists; JSR1682J-30; AZnLOF2020;
机译:多束扫描电子显微镜的高分辨率,高通量成像
机译:高通量,高分辨率电子束光刻
机译:使用两种高通量电子束检查系统研究极紫外图形掩模的缺陷可检测性
机译:高分辨率,高通量,CMOS兼容电子束图案化
机译:通过对二嵌段共聚物薄膜进行电子束构图的纳米级磁电子器件。
机译:通过模板掩膜曝光氦气对聚乙二醇进行高分辨率高通量正色调成像
机译:通过模板掩模氦光束曝光的聚(乙二醇)高分辨率,高通量,正色调图案。
机译:用于微电子学的绝缘体上硅结构的高通量线源电子束加工