Hydrogen implantation; Platelets; Nucleation theory; Gibbs energy;
机译:H〜+离子注入硅并退火后形成的氢分子和硅空洞的板状沉淀物的自由吉布斯能的测定
机译:Si +注入然后等离子氢化和H +注入结晶硅中结构缺陷形成的比较分析
机译:静压条件下氢注入和退火后无位错硅的缺陷结构
机译:在H +离子注入后形成的氢分子沉淀物的自由Gibbs能量的测定硅和退火后形成的氢分子和硅空位
机译:6氢碳化硅和4氢碳化硅中本征和离子注入引起的缺陷的电学和光学表征。
机译:硅纳米线中植入和退火的砷原子的离散分布及其对器件性能的影响
机译:si +注入然后等离子体氢化和H +注入晶体硅中结构缺陷形成的对比分析