An Autonomous Robotic System for handling wafer cassettes

机译：一种处理晶圆盒的自主机器人系统

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Sequences in the cleanroom. Requirements for a loading robot. Robot systems in the cleanroom. Steps to realization (Enabler). A look at the market. Humans and economics.

机译：洁净室中的序列。要求机器人的要求。机器人系统在洁净室。实现的步骤（推动器）。看看市场。人类和经济学。

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来源
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》|2014年||共15页
会议地点
作者
Peter Henoeckl; Bianca Ganser; Markus Vincze;
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正文语种
中图分类 TP2-53;
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