An Autonomous Robotic System for handling wafer cassettes

机译：用于处理晶圆盒的自主机器人系统

获取原文

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

Sequences in the cleanroom. Requirements for a loading robot. Robot systems in the cleanroom. Steps to realization (Enabler). A look at the market. Humans and economics.

机译：清洁室中的序列。装载机器人的要求。机器人系统在洁净室。实现的步骤（启动器）。看看市场。人类和经济学。

著录项

来源
《European Advanced Process Control and Manufacturing Conference》|2014年||共15页
会议地点
作者
Peter Henoeckl; Bianca Ganser; Markus Vincze;
展开▼
作者单位

展开▼
会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类 TP2-53;
关键词

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Accuracy Analysis of Dynamic-Wafer-Handling Robotic System in Semiconductor Manufacturing [J] . Cheng, H., Chen, IEEE Transactions on Industrial Electronics . 2014,第3期

机译：半导体制造中动态晶圆处理机器人系统的精度分析
2. Scheduling a wet station for wafer cleaning with multiple job flows and multiple wafer-handling robots [J] . TAE-EOG LEE, HWAN-YONG LEE, SANG-JIN LEE International Journal of Production Research . 2007,第3期

机译：通过多个作业流程和多个晶圆处理机器人安排湿站以进行晶圆清洁
3. Visual Marker System for Autonomous Object Handling by Assistive Robotic Arm [J] . Hideyuki Tanaka, Tetsuo Tomizawa, Yasushi Sumi, Journal of robotics and mechatronics . 2011,第4a134期

机译：辅助机器人手臂自主处理视觉标记系统
4. An Autonomous Robotic System for handling wafer cassettes [C] . Peter Henoeckl, Bianca Ganser, Markus Vincze European Advanced Process Control and Manufacturing Conference . 2014

机译：用于处理晶圆盒的自主机器人系统
5. Development of an Autonomous Omnidirectional Hazardous Material Handling Robot. [D] . Charabaruk, Nicholas. 2015

机译：自主开发的全方位危险品搬运机器人。
6. Liquid Robotics: Smart Fluid Systems: The Advent of Autonomous Liquid Robotics (Adv. Sci. 7/2017) [O] . A. Chiolerio, Marco B. Quadrelli 2017

机译：液体机器人技术：智能流体系统：自主液体机器人技术的出现（Adv。Sci。7/2017）
7. Vacuum Compatible Two d.o.f. Wafer Handling Robot by Electro-magnetic Suspension System. [O] . Toshio Matsumoto, Teruo Tsuji 1994

机译：真空兼容两个D.O.F.晶圆处理机器人通过电磁悬架系统。
8. Development of a Commercially Viable, Modular Autonomous Robotic Systems for Converting any Vehicle to Autonomous Control [R] . Parish, David W., Grabbe, Robert D., Marzwell, Neville I. 1994

机译：开发用于将任何车辆转换为自主控制的商业上可行的模块化自主机器人系统

An Autonomous Robotic System for handling wafer cassettes

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅