Vacuum Compatible Two d.o.f. Wafer Handling Robot by Electro-magnetic Suspension System.

机译：通过多个作业流程和多个晶圆处理机器人安排湿站以进行晶圆清洁

机译：基于酿酒酵母细胞的定量β-半乳糖苷酶测定法，可与机器人处理和高通量筛选兼容

机译：半导体制造中动态晶圆处理机器人系统的精度分析

机译：最小D.O.F的精细操纵半球形软指处理研究。机器人手

机译：研究非晶态氢化硅作为汞碲化镉/碲化镉薄膜真空兼容光刻的抗蚀剂。

机译：将图像分析和机器人技术集成到全自动菌落采集和板处理系统中。

机译：使用各种机器学习算法对晶圆处理机器人臂的任务故障预测

机译：使用机器人手臂的晶圆吸附方法，其中包括通过检测粘附在机器人手臂中的晶圆来吸收真空的压力传感器

机译：晶片例如半导体晶片，搬运装置，具有工具组件的工具架，基座架和用于移动晶片的机器人，以及安装在耦合架上的机器人，该耦合架独立于工具架而直接安装在基座架上

机译：晶片处理设备的拾取器和使用相同晶片处理晶片的方法，能够安全地吸收晶片而不损坏晶片