E-beam evaporation; Low pressure chemical vapor deposition; Amorphous silicon thin films; Rapid thermal annealing; Microwave annealing;
机译:低压化学气相沉积获得的退火非晶态氮掺杂硅薄膜中硅纳米晶形成的研究
机译:通过热线化学气相沉积在各种气压和气体流速下制备的非晶和微晶硅薄膜的结构
机译:通过低压化学汽相沉积非晶SiN_x(x = 0.16)薄膜的热退火形成硅纳米晶体
机译:电子束蒸发和低压化学气相沉积的快速热和微波退火的无定形硅薄膜特性比较
机译:微波等离子体电子回旋共振化学气相沉积法沉积的纳米晶和非晶硅薄膜晶体管:材料分析,器件制造和表征。
机译:脉冲等离子体化学气相沉积法制备纳米多孔非晶碳化硼薄膜的摩擦学和热稳定性研究
机译:低压快速热化学气相沉积制备薄硅氮氧化物薄膜的表征
机译:低温下非晶硅的激光光化学生长及热化学气相沉积的比较