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第1 章 绪论
1.1 选题背景
1.2 硅薄膜的简介
1.3 硅薄膜太阳能电池
1.3.1 硅薄膜太阳能电池的种类
1.3.2 硅薄膜太阳能电池的结构
1.3.3 硅薄膜太阳能电池的发电原理
1.3.4 硅薄膜太阳能电池的等效电路
1.4 硅薄膜的制备方法
1.4.1 非晶硅薄膜的制备方法
1.4.2 多晶硅薄膜的制备方法
1.5 选题意义
第2 章硅薄膜的制备及表征
2.1 实验仪器
2.2 硅薄膜的制备
2.2.1 实验方法
2.2.2 实验材料
2.2.3 实验过程
2.2.4 实验条件
2.3 硅薄膜的测试方法
2.3.1 扫描电子显微镜
2.3.2 激光拉曼光谱
2.3.3 傅立叶红外透射光谱
2.3.4 原子力显微镜
2.3.5 X射线能谱
第3 章 非晶硅薄膜的制备研究
3.1 非晶硅薄膜的生长机理
3.2 实验结果与分析
3.2.1 扫描电子显微镜分析(SEM)
3.2.2 拉曼光谱分析(Raman)
3.2.3 红外光谱分析(FFIR)
3.2.4 X射线能谱分析(EDAX)
3.3 本章小结
第4 章 多晶硅薄膜的制备研究
4.1 多晶硅薄膜的生长机理
4.2 实验结果与研究
4.2.1 扫描电子显微镜分析(SEM)
4.2.2 拉曼光谱分析(Raman)
4.2.3 原子力显微镜分析(AFM)
4.2.4 红外光谱分析(FTIR)
4.3 本章小节
第5 章结论与展望
参考文献
发表的论文
致谢