polysilicon; carrier selective contacts; pinholes; Tetramethylammonium hydroxide (TMAH);
机译:溅射沉积超薄氧化硅膜及其在高质量多晶硅TFT中的应用
机译:准分子激光辐照结晶的高性能底部栅极多晶硅多晶硅-氮化物-氮化物-氧化硅-硅薄膜晶体管,用于两位非易失性存储应用
机译:高性能多晶硅薄膜晶体管,具有超薄沟道膜和栅极氧化物,可用于低功耗应用
机译:通过选择性蚀刻引入针孔倍率:在超薄氧化硅膜上的应用于Poly-Si
机译:基于八氟环丁烷的等离子放电的特征,用于二氧化硅和低K介电薄膜的选择性刻蚀和处理。
机译:嵌段共聚物胶束膜引导金纳米粒子的表面附着及其在硅刻蚀中的应用
机译:通过选择性蚀刻引入针孔倍率:在超薄氧化硅膜上的应用于Poly-Si
机译:用于器件应用的溅射碳化硅和钨薄膜的反应离子蚀刻