MEMS; Acceleration Switch; Latching Mechanism; Dynamic Characteristics; The Contact Stability;
机译:采用钩状闩锁的高可靠性硅MEMS加速度开关
机译:具有可控断裂梁和独立多触点的常开/关集成式闩锁加速开关
机译:锁存超低功耗MEMS震动传感器,用于加速度监控
机译:MEMS加速开关中使用的锁定光束的研究
机译:具有CMOS开关电容器信号调理的MEMS角速度和角加速度传感器。
机译:反向超高g加速度下基于MEMS的惯性微动开关的抗震性
机译:使用移动聚合物波导自锁定MEMS光开关设计基础技术
机译:采用薄膜封装的锁存电容式RF mEms开关(预印本)