机译:使用电感耦合等离子体/反应离子蚀刻的GaAs深,垂直蚀刻
机译:通过等离子干法刻蚀和湿法化学刻蚀相结合的方法制造具有非常光滑和垂直侧壁的GaN基脊形波导
机译:形成高度垂直沟槽,通过电感耦合等离子体反应离子蚀刻用于垂直GaN电力装置
机译:地震引起的等离子刻蚀工具的垂直重启
机译:硅/硅锗化物异质结构的各向异性碳氟化合物等离子体刻蚀和等离子体刻蚀引起的侧壁损伤
机译:垂直和斜面结构的SiC蚀刻技术结合了用于各种微电子应用的不同混合气体等离子体
机译:严重地震钢束梁结束时应变的行为研究:第I部分机械性能的影响,垂直荷载对地震的垂直运动
机译:电感耦合等离子体反应离子蚀刻(ICp-RIE):用于高分辨率图案转移的纳米加工工具