机译:具有选择性外延生长的50 nm高性能应变SiGe pMOSFET的制造
机译:在凹陷的源极和漏极上逐步生长SiGe:B的选择性外延生长:生长动力学和应变分布研究
机译:使用各种介电掩模图形和工艺条件进行锡格层的低温选择性外延生长
机译:SiGe选择性外延生长工艺的灯加热系统研究
机译:Si和SiGe / Si异质结构在热壁管状低压化学气相沉积系统中的选择性外延生长。
机译:集成选择性外延生长和选择性湿法刻蚀制造高质量和应变松弛的GeSn微盘
机译:在凹陷源和漏极处逐步siGe:B的选择性外延生长:生长动力学和应变分布研究