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机译:具有选择性外延生长的50 nm高性能应变SiGe pMOSFET的制造
Sige; Cmos; Hole mobility; Selective epitaxial growth;
机译:应变SiGe p-MOSFET在各种(001)Si凹陷结构上对选择性外延生长的影响
机译:用选择性和非选择性外延生长技术在薄缓冲层上制造应变Si nMOSFET晶体管
机译:在局部应变pMOSFET中进行选择性外延SiGe生长的有效表面处理
机译:低于50 nm高性能CMOS应用的耗尽层硅FET(SODEL FET):采用选择性Si外延生长技术的新型沟道和S / D轮廓工程方案
机译:通过选择性外延生长的三维ULSI,在绝缘体岛上制造多层硅。
机译:集成选择性外延生长和选择性湿法刻蚀制造高质量和应变松弛的GeSn微盘
机译:对各种(001)Si凹陷结构上应变SiGe P-MOSFET的选择性外延生长的影响
机译:选择性蚀刻硅选择性区域外延生长