ALD; GaN; HEMT; aluminum oxide; atomic layer deposition; gallium nitride; high electron-mobility transistor; pulsed-IV;
机译:具有原子层沉积功能的0.2- $ mu {rm m} $ AlGaN / GaN高电子迁移率晶体管$ {rm Al} _ {2} {rm O} _ {3} $钝化
机译:NbAlO / Al2O3叠层电介质通过原子紫菜沉积制备的AlGaN / GaN金属-绝缘体-半导体高电子迁移率晶体管
机译:0.1-
机译:原子层沉积Al2O3钝化增强GaN高电子迁移率晶体管的性能
机译:在AlGaN / GaN高电子迁移率晶体管上进行等离子增强化学气相沉积的氮化硅钝化的热稳定性。
机译:氮化镓等离子增强原子层沉积对氮化镓基高电子迁移率晶体管的氮化铝表面钝化
机译:通过原位氟掺杂原子层沉积al2O3栅极电介质控制E模式和D模式GaN-on-si金属 - 绝缘体 - 半导体异质结构场效应晶体管中的阈值电压
机译:用于表面增强拉曼光谱的超稳定基材:由原子层沉积制备的al2O3覆盖层产量改进的炭疽生物标记物检测