周波数計測によるファブリー·ペロー共振器絶対光学長測定（第8報：電気光学変調器の振幅変調成分の抑制とキャリア周波数ロック法の開発）

摘要

ナノテクノロジなどの超微細加工技術の進展に伴い，nm以下の加工精度が要求される事例が増えている．しかも加工精度は相対的なものではなく絶対的となり，製品寸法には無関係になると予想される．将来的には，1mオーダの長さをnm以下の精度で絶対計測する技術が必須である．絶対光学長·幾何学長測定として，共振器の長さの逆数に相当する自由スペクトラム領域（Free Spectrum Range：以 下FSR，または最隣接共鳴点の周波数差）を測定した例があり不確かさ10~(-8)を達成している．FSR測定には電気光学変調器（EOM）によるレーザの位相変調（PM）を用いるが，その際に振幅変調（AM）成分が混入すると測定不確かさに影響を及ぼす可能性がある．また，我々の提案するFSR測定法においてはレーザ光源の周波数を共振器の共鳴点からわずかに離れた点にロックする必要がある．本稿では，ファイバ結合導波路型EOMに直流電圧を加えてAM成分を抑制する手法と，従来の方法を改良した光源のキャリア周波数ロック法について述べる．