マイクロ波プラズマCVDによるダイヤモンド合成における酸素添加の影響

摘要

CVD法によりダイヤモンドの合成が可能であり、その特性は天然ダイヤモンドと同等もしくは近い物が得られている。CVDダイヤモンドの優れた特性を工業的に応1用するためには、低コストでの合成が不可欠であり、そのためには、大面積化および高速化が望まれている。