FBAR; Resonance frequency; Lithography; Finite element; Wireless communication;
机译:外部膨胀应力对基于聚合物涂膜散装声谐振器(FBAR)的挥发性有机化合物(VOC)传感器频率特性的影响
机译:基于薄膜体声波谐振器(FBAR)的用于惯性力检测的高频传感器技术
机译:基于倾斜c轴取向的ZnO和AlN薄膜的双模薄膜体声谐振器(FBAR)的分析研究
机译:在单个芯片中集成具有不同频率的多层薄膜体声谐振器(FBAR)的新方法
机译:用于气体和生物分析应用的高频薄膜体声波谐振器
机译:基于β相聚偏二氟乙烯聚合物的柔性薄膜体声谐振器
机译:薄膜体声波谐振器(FBAR)的制造,与CMOS技术的异构集成以及传感器应用/
机译:基于具有倾斜c轴取向的alN,ZnO和GaN薄膜的双模薄膜体声波谐振器(FBaR)