圧電ダイアフラム型超音波マイクロセンサの構造制御による感度変化

摘要

近年、ロボット等の障害物検知、プライバシー不可侵のモニタリングシステム等において超音波センシングが注目を集めており、そのより高感度なセンシングの実現のためマイクロマシンニングと圧電薄膜を用いて作製された空気中使用の超音波センサが開発されている。