シンクロトロン放射光を用いた整形ビームによるマスクレス三次元微細加工に関する研究

摘要

任意の形状の三次元加工を、SR光の整形ビームによるマスクレス露光にて行う方法について基礎検討を行った（図1）。SR 光をアパーチャーにより整形し、露光量をアクチュエーターによるシャッター開閉にて制御することで、モザイク状のエネルギー分布を与える手法である。