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用于制造母模的方法、由该方法制造的母模、用于制造透明光掩模的方法、由该方法制造的透明光掩模以及使用该透明光掩模形成导电网格图案的方法

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本发明涉及一种制造母模的方法、由该方法制造的母模、制造透明光掩模的方法、由该方法制造的透明光掩模以及使用该透明光掩模制造导电网格图案的方法。

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公开/公告号CN106462087A

专利类型发明专利
公开/公告日2017-02-22

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社LG化学;
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申请/专利号CN201580008070.4
发明设计人朴正岵;郑镇美;郑有珍;辛富建;
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申请日2015-02-13
分类号G03F7/26;G03F7/20;H01J1/30;
代理机构北京鸿元知识产权代理有限公司;
代理人李静
地址韩国首尔
入库时间 2023-06-19 01:44:06

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-09-06

授权

授权
2017-03-22

实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/26 申请日:20150213

实质审查的生效
2017-02-22

公开

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