公开/公告号CN111886357A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-03
原文格式PDF
申请/专利权人 大日本印刷株式会社;
申请/专利号CN201980019365.X
申请日2019-03-20
分类号C23C14/04(20060101);H01L51/50(20060101);H05B33/10(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人沈雪
地址 日本东京都
入库时间 2023-06-19 08:47:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-06-21
授权
发明专利权授予
机译: 框架一体式蒸镀掩模,框架一体式蒸镀掩模制备,蒸镀图案形成方法,有机半导体元件的制造方法,有机EL显示器的制造方法
机译: 蒸镀掩模的制造方法,蒸镀掩模制备体,有机半导体元件的制造方法,有机EL显示器的制造方法以及蒸镀掩模
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