カーボンナノチューブの水中マイクロプラズマ処理によるパラジウム修飾と水素ガスセンサへの応用

摘要

本研究では、簡便なCNTの修飾法として、水中マイクロプラズマ処理法を提案する。この手法では、水中マイクロプラズマ周辺に発生する強い還元性を持っているHラジカルが、Pdイオンを還元しCNT表面に析出させることが期待できる。更に、Pd修飾したCNTを誘電泳動集積してセンサを作製し、同センサによる水素検出を試みた（図1）。