シングルマスク傾斜リソグラフィにより作製したマイクロ橋脚構造を用いたfiber-FISHプロセスの高効率化

摘要

本研究で作製したSU-8チップは、染色体をより分散させて伸長させるため、前報より微細な橋脚構造を作製した。幅5μmで5μm間隔にV溝構造を持っ5μm橋脚構造と幅2.5μmで2.5μm間隔にV溝構造を持つ2.5μn橋脚構造を作製し、さらにSU-8の自家蛍光を抑えるために表面にTi薄膜をスパッタリングにより成膜した。