窒化物半導体紫外発光デバイスの進展とMEMSへの融合の可能性

摘要

本研究では、これまで、窒化物半導体の結晶成長技術を開拓することによって、最短波長220-350nm領域紫外、高出力·高効率LED、LDの開発を行ってきた。今回、短波長、最高出力紫外LEDの進展について紹介すると共に、将来のMEMS技術との融合の可能性について概観する。