EB-PVD法を用いたナノ構造制御による次世代TBCの開発

摘要

ファインセラミックスセンター(JFCC)では、新エネルギー·産業技術総合開発機構(NEDO)によって進められている「ナノコーティング技術プロジェクト」(H13～)の一環として、H14年3月にEB-PVD装置を導入し、低熱伝導率（1W/mK以下）、高耐熱温度（1300°C以上）を目標としたTBCの技術開発を進めている。本報告では、ナノ構造制御によるTBC開発のコンセプト、EB-PVD装置の概要、材料開発の状況、EB-PVDプロセスのシミュレーションなどについて述べる。